碳(tan)/碳復合坩堝(guo)由(you)高(gao)強度碳(tan)纖維和增強碳(tan)基(ji)體(ti)組成的復合材(cai)料(liao)制(zhi)成。使用的碳纖(xian)維具(ju)有低(di)堿金(jin)屬雜(za)質含(han)量、高強度和高彈性模量。它采(cai)用整體(ti)結(jie)構(gou)和近凈成型的(de)設(she)計理(li)念(nian)，通(tong)過(guo)制(zhi)坯、致密化(hua)、凈化(hua)、高溫(wen)熱處(chu)理(li)和表面(mian)塗層(ceng)處(chu)理(li)工藝(yi)制(zhi)造(zao)而成。用於制(zhi)備單晶矽熱場的零件必須經(jing)過提(ti)純(chun)，保(bao)證金(jin)屬雜(za)質含(han)量降低(di)到100ppm以下(xia)，滿足(zu)制(zhi)備熱場零件的要求(qiu)。生(sheng)產(chan)過(guo)程(cheng)如(ru)圖(tu)3所示(shi)。碳/碳坩堝(guo)的(de)生(sheng)產(chan)工藝(yi)及其自身特(te)點(dian)如(ru)下(xia):

(1)碳/碳復合材(cai)料(liao)坩堝(guo)采(cai)用整體(ti)設(she)計理(li)念(nian)，由(you)碳(tan)纖(xian)維增(zeng)強碳(tan)基(ji)體(ti)制(zhi)成，強度高(gao)，結(jie)構(gou)簡(jian)單(dan)，重(zhong)量輕(qing)，操作(zuo)方(fang)便；

(2)碳(tan)/碳復合材(cai)料(liao)制(zhi)成的坩堝(guo)熱(re)膨脹(zhang)系數(shu)小(xiao)，抗熱震(zhen)性好，在快速加(jia)熱(re)和快速(su)冷(leng)卻(que)的(de)環(huan)境(jing)下(xia)使用不開裂(lie)，使(shi)用壽命長。  

(3)生(sheng)產(chan)流程短(duan)，生(sheng)產(chan)和使用能(neng)耗(hao)大幅(fu)降低(di)，主(zhu)要工序在密閉設(she)備中進行，無(wu)有害(hai)氣(qi)體(ti)排(pai)放(fang)，對環境(jing)無(wu)不(bu)利(li)影(ying)響(xiang)；

(4)采(cai)用成熟的3D編程技術，坩堝(guo)結(jie)構(gou)可(ke)設(she)計性好，尺(chi)寸精度高(gao)，各種(zhong)尺(chi)寸的(de)坩堝(guo)質量(liang)穩定(ding)；